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POSIFA真空計(jì)是基于POSIFA的第二代MEMS熱導(dǎo)率芯片設(shè)計(jì)而成。芯片由精微加工工藝制作而成，具有優(yōu)異的精確度和一致性。這顆芯片可以測量熱導(dǎo)，其上印刷有集成的測溫電路，具有良好的靈敏度和重復(fù)性。由于工作溫度很低，所以相比于燈絲原理的皮拉尼規(guī)，PVC6800 系列更能耐受污染物。PVC6800 系列的一個(gè)重要特點(diǎn)就是增加壓力傳感器，確保從 1.5 到 0.1 大氣壓具有高精度。